====Word行业资料分享-可编辑版本-双击可删==== 阿尔卡特线.功能键： CONTROL 写入功能键：当要写入内容时，按下此键屏幕出现时 方可写入内容，否则只能读出不能写入 b 返回或退出键：当要退出某个程序界面时，按下此键即可 SET 退出 选择翻页或数值增减键：在某个界面做出合理的选择时，按此键可进 行上下选择功能键；在要对数值做修改时按此键即可增减数 值 确认和进入键：当选择某一个功能界面时，按下此键即可进 ENTER 入此功能界面 START运行键：按下此键即可开机运行STOP停止键：按下此键设备停止PURGEPURGE START 运行键：按下此键即可开机运行 STOP 停止键：按下此键设备停止 PURGE PURGE 吹扫用n2开关键 ROOTS 罗茨泵开关 AUX尾气排放开关 AUX 尾气排放开关 2.需要注意的几点: ====Word行业资料分享-可编辑版本-双击可删==== STANDBY模式下必须是ENABLED而不是DISABLED,否则温度 上不去，即温度在30-50oCo而不是正常值范围内，当出现这样一种情况，先 把泵关掉按“+、一”键进入按回车键修改。 当出现“ADP报警（038）”时，把机台前盖取下，将泵前面的两端盖 取下，用手转动转子即可再运行，否则会将泵损坏。端盖 取下，用手转动转子即可再运行，否则会将泵损坏。 端盖 氮气的流量一般是在40—70L/min,如果是120—140L/min,说明流量 计也许会出现问题，这时泵仍可以使用，当停机后可以检查流量计。 计可能出现一些明显的异常问题，这时泵仍能够正常的使用，当停机后能检查流量计。 机台的报警温度在12OoC,报警功率在3500W，停机功率在5000W。 当流量计浮子没起来时，说明冷却水管被堵塞，这时将水管快接头用压缩 空气吹入管道，观察浮子是否被吹起来，一般的情况下浮子应该在上端。 : :Word行业资料分享-可编辑版本-双击可删 3.设备原理图: vcM : Exhaust J t ■^1 Inlet Mass flawmeler Standby M應 1 Amp ▲ k* ;Prwivre C^\ : sertsorx-x AiMi-iiKkhwIlc vaiw Ccilibr tried V V V V 惴OLU 原理图一 气路原理图 Manometer ■ Praswre名汰 regulator \/y : N2 inlet(gj—{^J—工 ! 原理图二 电路图 :Word行业资料分享--可编辑版本--双击可删 3 - way - 3 - way - valve* Water inlet Wa
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