假如没有星号,在操作面板上按下CONTRL,在显现屏的榜首行前端 显现一个星号。如图:
在此状态下,按下STOP键,会呈现一个承认画面,按ENTER键,承认 关机,泵会中止工作。
榜首行显现元素: ﹡:处于手动操控形式。 N2:氮气 第二行:ADP泵当时的功率。 第三行:排气口的压力。 第四行:AUX的温度。
一般状况下,卡身后能够终究靠摇摆转子使其内部阻力减小,然后能够 敞开泵。 摇泵时需求内六角扳手和户口扳手,或许24mm套管。 翻开前盖后,如下页图所示,再翻开左面的端盖,即可显露轴承的六 角头端,用扳手逆时针顺时针往复60度左右摇摆,阻力逐渐变小后, 在接连整圈摇摆,直至能够轻松摇摆时,装上端盖,可敞开泵。 假如摇摆进程中,不管摇摆多少圈,阻力一向很大,不能敞开,这种 状况是泵现已彻底卡死,不能通过摇摆转子修正,只能替换。
留意!此刻仅仅泵中止工作,并没有断电! 留意!此刻仅仅泵中止工作,并没有断电!
翻开前盖板后在右下角有调理阀,左面是氮气调理阀,右边是水调理阀。 氮气流量一般调整在60左右,水一般调理在最大方位。
泵在工作进程中会由于内部凝聚很多氮化硅粉尘导致工作阻力添加, 到某些特定的程度时转子会卡死,一起会有报警,在显现器和指示灯处均有 报警。 报警信息如下:
手动操控和长途操控切换 上下翻页,调整参数 敞开真空泵 冷却水开 氮气吹扫开