一般来说，按真空泵的作业原理，真空泵基本上可大致分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。跟着真空使用技术在出产和科学研究领域中对其使用压强规模的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气体系一起抽气后才干满意出产和科学研究进程的要求，因而选用不一样真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的状况较多。下面就来具体讲讲
极限压强又称极限真空，单位是Pa，是指泵在进口处装有规范实验罩并按规则条件作业，在不引进气体正常作业的状况下，趋向安稳的较低压强,即真空泵的进口端经过充沛抽气后所能到达的较低的安稳的压力。
抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有规范实验罩，并按规则条件作业时，从实验罩流过的气体流量与在实验罩方位测得的平衡压强之比。简略的说便是指真空泵在单位时刻内能抽走气体的体积数，是真空泵的重要性能指标之一，简称抽速。
真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的线、真空泵的较大前级压强
真空泵的较大作业压强单位是Pa，它是指对应较大抽气量的进口压强。在此压强下，泵能继续作业而不恶化或损坏。
泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规则条件作业时，经过泵进口单位面积的泵流质量流率。
水蒸气的答应量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在继续作业时能抽除的水蒸气质量流量。
较大答应水蒸气进口压强单位是Pa。它是指在正常环境条件下，气镇泵在继续作业时所能抽除的水蒸气的较高进口压强。
