通过增加正常运行时间、减少对环境的影响以及良好的成本效益,iXM 低能耗干泵可为您的关键应用带来真正的制程改进。
高效的根源机制可将输入功率减少多达 60%,由此减少对环境的影响并降低总体使用成本
气体阻隔技术和隔热设计方面的改进使产品的抗腐蚀性比我们之前的系列提高了四倍
先进的粉尘处理功能可为多层蚀刻工艺提供更高的可靠性,延长真空泵常规使用的寿命,并降低 CVD 工艺的功耗
宽广的温度范围使您可以对真空设备做优化,更大地减少冷凝和电镀的副产物累积
iXH Mk2 干泵可在严苛的工艺中提供更长的常规使用的寿命,并能明显提高功效
iXL 系列是系列低能耗紧凑型干泵,适用于轻量应用,例如晶片处理、PVD 和计量。
iXL600M 和 iXL1000M 两种型号经过工艺加固,专门设计用于电介质(氧化)蚀刻和其他类似应用
iXL900R 是目前同种类型的产品中速度快的负载锁定泵,用于 FPD 负载锁定应用。用这种新型泵,客户能明显降低其经营成本和安装时间,非常适合于等离子体气相沉积 (PVD) 应用的大负载锁定腔室。此外,每个负载锁定腔室需要的泵会更少,由此减少了客户的安装时间、系统化成本、维护和公共设施消耗。
凡本网注明“来源:化工仪器网”的全部作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其有关规定法律责任。
本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的是传递更加多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵犯权利的行为的直接责任及连带责任。别的媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。