金融界2024年12月19日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海盛剑半导体科技有限公司获得一项名为“种真空泵组及废气处理系统”的专利，授权公告号 CN 222162922 U，请求日期为2023年12月。
专利摘要显现，本请求触及一种真空泵组及废气处理系统。该真空泵组包含主泵和前级泵，主泵与前级泵呈卧式安置，主泵坐落前级泵的上方，且主泵与前级泵平行；主泵包含一主泵输出口，前级泵包含一前级泵吸进口；主泵输出口与前级泵吸进口上下对齐设置，并经过法兰结构直接固定衔接。与现存技能比较，省去了衔接于主泵输出口与前级泵吸进口间的管道衔接组织，使得主泵输出口与前级泵吸进口直通，粉末更简单被泵送的气体带走，然后有很大作用防备粉尘堆积，减少了泵送才能的丢失；一起降低了真空泵组的全体高度，使得真空泵组体积更小。
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