【爱德华真空泵运用说明】爱德华线)使用 涡轮分子泵一切正常工作中有必要低于1Pa的前面压力。一般的真空泵可做为该泵的前面泵 高频电机的起动由中频感应炉内的电子体系操作。在十多分钟内使泵升到额定值转速比。高频电动机 工作中时一般以散热电扇或试压展开制冷 当泵进到一切正常转速比后,为做到極限压力,处理被抽器皿及泵体展开烤制除气,泵体的除 气温度为100~120℃,除气后可获得约10-8的極限压力 有必要留心的是:①涡轮分子泵对相对性分子质量大的汽体发动机紧缩比大,故極限压力要害取 决于相对性分子质量小的汽体成份。如H2、He等。除此之外,器皿及泵体开释的水蒸气也是危害 極限压力的要害要素。 ②涡轮分子泵低真空泵方位的轴承润滑油也是一个要害污染物,因此该泵是一个准无 油的机械泵。在泵停止运行时,应当即灌进干躁N2,能够遏止润滑脂蒸汽的外扩散。若 想要毫无油的涡轮分子泵,必须对滚动轴承展开改进,怎样使用汽体滚动轴承,磁悬浮轴承的 分子泵。 由于该泵具有高速工作的构件,促进它不能够在电磁场下使用。由于这会形成涡旋形成 、叶子形变等实际效果。一般容许的杂散磁通密度为0.004~0.011T。 ④涡轮分子泵虽然具有起动快、停泵快的优势。但该泵的缺点对H2、He等轻质量气 体的发动机紧缩比小。也由于泵旋转构件与静止不动构件间空地不大,必须留心避免 各式各样碎渣飞进泵
内,导致危害的安全事故 (2)天然环境规范规则 涡轮分子泵应在下述天然环境规范下工作中 ①天然环境温度为4~40℃; ②气体空气中水分含量低于85%; ③冷却循环水渗水温度不高过25℃ (3)泵的使用规范 ①泵应避免抽除带烟尘、腐蚀或可燃性汽体。泵在一切正常运行时,不允许当即导入大 气,不允许有显着轴向轰动 ②为了更好地除气目地,对泵体检测罩和真空泵准确测量规管展开烤制。其烤制温度:泵体及泵体 上的法兰盘为120℃,检测罩或线℃;线℃。 ③强烈推荐的前面泵应符合表422规则
